中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380687 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600フォトレジスト装置は、集積回路の製造に多用されるフォトリソグラフィープロセスで使用される高精度で効率的なシステムです。ウェーハ加工や半導体製造事業において優れた性能を発揮し、優れた解像度、スピード、精度を実現します。機械は3つの主要な部品から成っています。TEL CS-600プロジェクターは、ステッピングモータツール、リニアフィードバックデバイス、密閉環境、画像回転アセットを使用して、正確な射影画像配置を実現します。これにより、レジスト加工工程中の光の露出の最適なアライメントと配置が保証されます。モデルのナイフエッジアライナーは、鋭さ、波長、幅、高さ、遮光特性などのブレードエッジ特性を測定するために使用されます。これにより、ブレードエッジの正確なアライメントが可能になり、ウェーハ全体で光の露出が正確かつ均等に完了します。最後に、フォトレジストの均一な分布を高め、フォトリソグラフィの忠実度を高めるためにウエハを回転させるスピンプロセッサを搭載した東京エレクトロンCS-600。CS-600機器を使うのは簡単です。まず、オペレータはウェーハをシステムにロードし、所望の画像処理アルゴリズムを入力します。このユニットはフォトリソグラフィープロセスを実行し、ウェーハの所望の領域に正確に光を露出させます。その結果、高精度のリソグラフィ画像が得られ、一貫性のある機能解像度、再現性、深さが得られます。最後に、マシンは正確にウェーハを回転させ、最適な画像忠実度を得るためにフォトレジストの均一な分布を確保します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600ツールは、集積回路製造プロセスの精度と耐久性を高めるために設計された信頼性の高い効率的なフォトレジスト資産です。優れた性能と信頼性により、ウェーハ加工や半導体製造事業に最適です。