中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380686 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、フォトリソグラフィで金属層を直接パターン化するフォトレジスト機器です。小型作物センサや構造物の組立、マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）、インターコネクト、オプトエレクトロニクスデバイスなど、高度な半導体製造プロセスで広く使用されています。このシステムは、正確な露出制御、特徴サイズ制御、および堅牢な金属パターニングを1つのプロセスで提供します。TEL CS-600は、電子化学補助熱抵抗（ECAT）レジストと呼ばれる独自のフォトレジストを使用しています。このレジストは、様々な金属や基板表面仕上げと互換性があるように設計されています。可視光と電子ビームの両方に対して感光性が高く、パターンや特徴の解像度を制御することができます。また、東京電子CS-600には、露光光源に対してレジストコート基板を正確に配向する機械ステージが装備されています。CS-600は、高解像度の画像プロジェクター、ハロゲン/水銀アーク洪水露光源、レーザー露光源など、幅広いリソグラフィーツールを備えています。これらのツールは、最大0。8マイクロメートル（μ m）の解像度で、極めて低いライン/スペースパターンを実現するように設計されています。また、高解像度のスキャンセルを備えており、複数の角度で同時に露出することができます。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600には高性能フィードバック機が搭載されています。このツールは、露光源に対するレジストコート基板の距離を継続的に監視し、パターンのアラインメントが許容範囲内であることを確認するための調整を行います。スキャンセルは、長期露出によるレジストの損傷を軽減するためにも時間がかかります。TEL CS-600には洗練された洗浄、コーティング、乾燥資産も備えています。このシーケンスモデルは、プロセス実行中の汚染を防ぎ、レジストの均一性と光学的にクリアな最終結果を保証します。東京電子CS-600には、開発後のラインクリーニングステーションも含まれており、基板が露出して開発された後にフォトレジストを除去するのに役立ちます。全体として、CS-600は金属層のダイレクトパターニングのための強力で信頼性の高いフォトレジスト機器です。その汎用性と堅牢な機能により、幅広いフォトリソグラフィ用途に適しています。