中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380685 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、半導体製造およびマイクロエレクトロニクスアセンブリのリソグラフィープロセスを合理化および強化するために設計された革新的なフォトレジスト機器です。この高度なシステムは、優れた画質と優れた均一性とコントラストを提供します。TEL CS-600は、高度なパターンジェネレータと専用光学エンジンを搭載した強力なイメージングユニットを採用しています。これにより、正確で均一な照明と登録、および可能な限り最高のコントラストを得るための正確な空間周波数選択が保証されます。パターンジェネレータは、10 kV電子ビーム、200 MHzおよび5 μ mの焦点レンズを備えた2つのスキャンヘッドと、光学露光ガイドマシンで構成されています。この組み合わせにより、非常に正確な露出と露出パラメータの微調整が可能になります。このツールには、フォトレジストアプリケーション用に特別に設計された独自のソフトウェアツールのセットも付属しています。ソフトウェアは、ユーザーが期待に応える結果を達成するために、すべてのパラメータと条件を入力することができます。フォトレジスト、ベーキング、露出、エッチング、ストリッピングなどの機能を考慮し、最適な精度と結果を得ることができます。東京エレクトロンCS-600は、高精度のステージムーブメントを採用し、パターン生成をスムーズにするとともに、真空チャンバーやステージコントロールを用いた高解像度化を実現しています。さらに、この資産には、コスト削減プロセス中のプロファイル制御と監視のための高度なデジタルアルゴリズムが装備されています。結論として、フォトレジストモデルCS-600、半導体部品の製造プロセスを合理化および改善する優れた機能と利点を提供します。優れたイメージング装置、高度なソフトウェア、精密制御機能、および優れた精度と均一性により、この最先端のシステムは半導体業界において不可欠です。