中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380684 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 （TEL CS-600）は、TEL （TOKYO ELECTRON）がウエハ表面に高品質で正確なレジストを生成するために設計したフォトレジスト装置です。TOKYO ELECTRON CS-600は、露出、冷却、レジストストリッピング機能を含む完全自動化システムです。この露光プロセスは、紫外線（UV）の全領域にわたる可変光源を持つ高度なビジョンユニットによって、赤外線（IR）光に見えるように管理されています。機械はまたよりよい熱管理を可能にし、小さく、複雑な伝導性ラインの形成を可能にする可変速度の冷却の流しを含んでいます。レジストストリッピングプロセスはスピンクリーナーモジュールで実行され、さまざまなウエハサイズと形状のレジストを高精度に生産できます。高度なイメージングツールを使用し、オートアライメントやステージオートアライメントなどの機能を備え、CS-600はマイクロメートル精度で位置決めステージにウェーハを揃えることができます。このイメージングツールにはオートフォーカス機能も搭載されており、常に安定した画像を確保し、手動で介入することなく高精度のレジストを生成することができます。また、TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は1000アングストローム（1nm）までの厚さのレジストを製造することができます。TEL CS-600は環境に優しいモデルであり、露出中の安全性を確保するためにEPA規制に準拠しています。また、自動停止システムなどのさまざまな安全機能を備え、事故の可能性を低減しています。TOKYO ELECTRON CS-600は、高精度で高品質なレジストを生成することを可能にする幅広い機能を備えた先進的なフォトレジストシステムです。このユニットはユーザーフレンドリーで、安全基準に準拠しており、幅広い厚さと複雑さのレジストを生産することができます。これにより、CS-600は半導体製造や医療機器製造など、さまざまな産業用途で使用することができます。