中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380683 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipmentは、半導体産業におけるフォトリソグラフィープロセスのための強力で信頼性の高いツールです。TEL CS-600は、フォトリソグラフィープロセスの制御を強化するための信頼性の高い統合システムを備え、最先端の光学性能と高度なウエハハンドリング機能を備えています。高精度な画像処理用の数値開口（NA）、動力調整用の優れたレーザー照射パワーコントロールなど、優れた光学性能を提供します。また、基板アライメントの自動化、ウェハ間温度の均一化、プロセス温度の制御に最適化された冷却速度など、高度なウェハハンドリング機能を備えています。また、TOKYO ELECTRON CS-600は、最大限の柔軟性を実現するプログラマブル電源と、安全のための緊急停止機能を備えています。CS-600はまた、さまざまなリソグラフィのニーズに合わせてさまざまなフォトレジストのオプションを提供しています。これらには、シングルモードフォトレジスト（SMPR）、マルチモードフォトレジスト（MMPR）、プロアクティブフォトレジスト（PPR）が含まれます。SMPRは、優れたコントラストとともに、高い感度とディテールを提供します。MMPRは複雑なフォトリソグラフィ作業に最適で、基板に焼き付けたフォトレジストで大きなパターンを生成することができます。PPRは、3D構造用に設計された高性能フォトレジストであり、高度なリソグラフィ結果を達成することができます。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、設置・操作が容易なコンパクト構成。さらに、特定の顧客ニーズに合わせてカスタマイズするための幅広い標準およびカスタムコンポーネントを提供しています。さらに、このツールのモジュール設計により、個々のフォトレジスト部品を簡単に交換できます。TEL CS-600 Photoresist Assetは、高度なリソグラフィープロセスのための強力で信頼性の高いツールであり、プロセス結果に高いレベルの再現性と均一性を提供することができます。このモデルは、幅広いフォトリソグラフィープロセスに対して信頼性の高い結果を提供し、半導体製造に適しています。