中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380682 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipmentは、半導体製造における基板のパターニングとエッチングのための汎用性と信頼性の高いツールです。このシステムは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）技術を利用して、基板上にフォトレジストの層を堆積させます。TEL CS-600は、プロセスチャンバーとソースチャンバーの2つの主要部品で構成されています。プロセス部屋は真空ポンプを収容する堅く密封された部屋です。ソースチャンバーには、プロセスに必要なコンポーネントが含まれています。基板はプロセス室に積み込むことができ、密封されると、ポンプはチャンバーを避難し始めます。真空の下で、源の部屋の部品は望ましい温度まで熱されます。その後、異なるタイプのガスをチャンバーに導入して、堆積とエッチング処理を開始することができます。TOKYO ELECTRON CS-600は、ポリシリコン、ドープ酸化物、窒化物、SiGe/SiGeなどの基板をパターン化してエッチングすることができます。エッチングには塩素ガス、フッ素系ガスを使用しています。フォトレジスト層については、CS-600はモノマーとイニシエータガスを含む重合プロセスを利用してフォトレジストを生成します。重合プロセスにより、このツールはフォトレジスト処理アプリケーションに比類のない性能を提供することができます。さらに、TEL/TOKYO ELECTRON CS-600には、いくつかの安全機能が組み込まれています。ユニットには、内部安全弁、パージ機、排気工具が装備されています。これらの安全機能は、処理中に有害物質が環境に放出されないようにするのに役立ちます。TEL CS-600は、フォトレジスト加工用途のための効率的で信頼性の高いツールであり、半導体業界において優れた性能とユーザビリティを提供するように設計されています。TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Assetは、多彩な機能を備え、半導体製造業者から好評を得ています。