中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380680 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 （「TEL CS-600」）は、半導体デバイスの製造に使用される自動フォトレジスト装置です。このシステムは、単一のウエハカセットまたはデュアルウエハカセットローダーで構成でき、最大200mmのウエハを処理できます。ウエハハンドリングに最適化されたカセットを備えているため、ウエハーの手動アンロードは不要です。TOKYO ELECTRON CS-600は、操作を制御する高度なコンピュータマシンと操作を簡素化する直感的なユーザーインターフェースを採用しています。このツールは、ローカルとリモートの2つの動作モードを可能にします。ローカルモードでは、外部オペレータコントロールパネルからアセットを操作できます。リモートモードでは、ローカルエリアネットワーク上のコンピュータからモデルを操作できます。CS-600は、プレベークおよびポストエクスポージャーのベークシーケンスのための洗浄プロセスのフルレンジを持っています。洗浄プロセスには、すすぎ、スピンドライ、スプレー、スピンドライ、ジェット、スピンドライ、エアブロー、スピンドライなどがあります。これらに加えて、特別なクリーニングの必要性のための手動および自動粒状のクリーニングプロセスがあります。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、高度なスキャナとモーションコントロール装置を使用して、ウェーハ上のフォトレジスト機能のパターン配置とオーバーレイを検査および最適化します。これは、調節可能なスポットサイズと焦点深度範囲を備えた完全に自動化されたソフトウェア駆動の光学アライナーを備えています。また、TEL CS-600は、スループット時間を短縮するための高度なローダー/アンローダーシステムを備えており、フォトレジスト材料の高速処理を可能にします。統合されたワークベンチにより、ロードとアンロードの時間が短縮され、完全に自動化されたクリーニングユニットによりフォトリソグラフィ材料の転送が改善されます。TOKYO ELECTRON CS-600は、各種ウェーハの取り扱いに柔軟に対応できるプログラマブルフォーマット設定も備えています。機械は安全操作を保障する高度の安全機能が装備されています。安全機能には、オペレータがツールから離れたときの自動停止と、機械が一定時間以上使用されていないときの自動ロック解除が含まれます。CS-600には、オペレータが簡単にアクセスできる緊急停止ボタンも含まれています。結論として、TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、製造プロセスのスループットと精度を向上させる高度な自動フォトレジスト資産です。高度な光学アライナーとローダー/アンローダーシステムは、高効率で高品質なパフォーマンスを提供します。直感的なユーザーインターフェイスと安全機能により、操作が簡素化され、安全な操作が保証されます。