中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380679 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、ウェーハや基板にフォトレジスト素材を正確に適用するために使用されるフォトレジスト機器です。フォトレジスト材料は光に敏感であり、様々な用途の基板上にパターンを作成するために使用することができます。フォトレジストシステムは、ノズルユニットとスキャナーヘッドで構成されています。スピンコートユニットとしても知られるノズル機は、基板上のフォトレジスト材料を正確に適用するために、スピンレート、ノズル温度、抵抗を制御するためのプログラム可能なモーターを備えています。スキャナーヘッドは、コーティング装置にウェーハを正確に配置するための光学センサーです。テレセントリックレンズを使用しており、イメージング関連の歪みを低減し、完璧なイメージングを提供します。また、TEL CS-600フォトレジストツールには、高度な制御ユニットを搭載し、資産管理や取り扱いにも対応しています。ユーザーは、プロセスのニーズに応じて所望の速度、温度、抵抗、圧力を設定することができます。このユニットはさらに、適切な材料沈着のためのフォトレジスト材料を分析するために使用されるスペクトル解析機能を提供します。TOKYO ELECTRON CS-600には、タスクの実行に使用されるAdvanced Programmable Logical Controller （APLC）も搭載されています。この洗練されたデバイスは、高精度を維持しつつ、複数のプロセスステップでさまざまな複雑なタスクを実行できます。要約すると、フォトレジストモデルCS-600フォトリソグラフィのための効率的で信頼性の高いソリューションです。基板に正確で再現性のある信頼性の高いフォトレジスト蒸着を行うために、最新の技術進歩を備えています。スピンレート、温度、抵抗などのパラメータを厳密に制御することで、基板にフォトレジスト材料の正確な量と均一性がコーティングされます。