中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380678 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600フォトレジスト機器はフォトリソグラフィのツールです。半導体製造で一般的に使用されるプロセス。露光のウェハ配置を正確に調整するためのウェハアライメントステージ、高出力のUVまたはレーザー光源、画像を拡大または縮小するための電動ズームレンズ、高度な制御ユニットを備えています。ウェーハアライメントステージは、真空チャックと3つの可動軸で構成され、オペレータにウェーハの位置と向きを正確に制御することができます。内部カメラを使用して、露出前のウェーハ位置とアライメントを確認できます。この機能により、手動で介入する必要なく、各ウェーハを正確に配置して露出させることができます。この機械には、用途に応じて短いアークランプを使用してUVまたはレーザー光を生成する光源が装備されています。ランプおよび電気制御用具はアークの寿命および最低の維持の条件を最大にするように設計されています。アセットは、さまざまなアプリケーションの露出パラメータを最適化するために、幅広いフィルタパターンを使用することができます。電動ズームレンズは、最大限の柔軟性と露出制御をオペレータに提供するように設計されています。それに正確に光強度を制御する調節可能な虹彩のダイヤフラムが付いているテレセントリック設計があります。また、調整可能なフォーカスとズームを提供し、ユーザーが理想的な画像サイズを選択することができます。制御モデルは高度で、タッチスクリーンユーザーインターフェイスと高度な診断機能を備えています。これにより、オペレータは露出パラメータを事前にプログラムし、さまざまなアプリケーションのさまざまな設定を保存できます。装置はまた、強化されたプロセス制御のための他の生産設備と統合することができます。TEL CS-600フォトレジストシステムは、半導体製造のための強力なツールであり、正確なウェーハアライメント、高出力のUVまたはレーザー光源、調整可能なフォーカシングとズーム、および高度な制御ユニットを提供します。特定のプロセスを自動化する機能により、効率的で信頼性の高いフォトリソグラフィ体験をユーザーに提供します。