中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380677 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、フォトリソグラフィープロセスに使用される総合的なフォトレジスト機器です。このシステムは、高度なレジスト技術と完全に自動化された基板処理ユニットを組み合わせ、完全なレジストソリューションを提供します。TEL CS-600にはレジストモジュール、ビジョンモジュール、基板アライメントモジュールがあり、幅広い用途に最適なソリューションです。レジストモジュールは、さまざまなタイプのレジスト材料を使用するように設計されています。レジストノズル、反射防止コーティング（ARC）ノズル、スプレードライヤーを備えています。ノズルはレジスト材料の塗布を正確に制御することができ、高い精度で均一な蒸着を保証します。さらに、ノズルにはリーク検出器が装備されており、レジスト漏れや重要基板表面の汚染を防止します。レジストノズルの調整性により、様々な基板上に正と負の両方のレジスト製剤を堆積させることができます。ビジョンモジュールは、基板座標を正確に認識し、基板ステージでの動きを追跡するように設計されています。ビジョンモジュールは高解像度カメラを備えており、基板の特徴を正確に認識することができます。これにより、アプリケーションプロセス中にレジストノズルとARCノズルに関連して基板を正確に向けることができます。さらに、ビジョンモジュールは、許容整合性のある基板のみを使用するために、基板欠陥を自動的に検出し、レジストモジュールにフィードバックすることができます。基板アライメントモジュールは、基板ステージに基板を配置するたびに一貫した基板配置を保証します。センサーとソフトウェアの組み合わせを使用して、± 0。1mmの範囲内で基板を正確に配置します。これにより、レジスト材料の適用が正確に行われるようになります。さらに、このモジュールは、自動化された性質のために、1つのバッチに多数の基板を簡単にセットアップすることができます。TOKYO ELECTRON CS-600は、優れた均一性と生産性を提供する優れたフォトレジストマシンです。汎用性の高いレジストアプリケーションオプションにより、さまざまな基板を柔軟に生産でき、フォトリソグラフィープロセスに最適なソリューションです。さらに、高度なイメージングおよびアライメント機能により、レジストアプリケーションのプロセスに基板を正確に配置できるため、優れた再現性が得られます。