中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380672 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、半導体ウェーハの開発・加工に使用される自動フォトレジスト装置です。このシステムはレーザースキャン技術を利用して、1つのウェーハから次のウェーハに素早く移動し、リソグラフィ処理中にフォトレジスト材料を正確に適用することができます。TEL CS-600は、統合ビジョンユニットを使用することにより、アプリケーション開始前に各ウェーハを正確に認識し、さらに正確性を確保し、生産中のエラーを低減することができます。TOKYO ELECTRON CS-600は、独自のスピン・オン・ティーチングプロセスを使用して、ウェーハ表面にフォトレジスト材料を適用します。最適化されたレーザービームを使用して、ウェーハ表面を正確にスキャンし、必要な分注位置を自動的に計算します。これにより、高速かつ再現性の高い全自動ツールを使用してフォトレジストを制御し、均一に適用できます。統合されたビジョンアセットにより、ウェーハコンポーネントのバーコード認識と検証が可能になります。これに加えて、モデルはまた、異なるタイプのウェーハを区別することができます、正しいフォトレジスト材料と開発条件だけが各ウェーハに使用されています。装置の精度をさらに高めるために、CS-600は重力レベル検出を使用して、材料の均一性を確保し、各ウェーハの表面に経路を分配します。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、世界中の半導体生産ラインに欠かせない機器です。フォトレジスト材料をウェーハに適用する際に最大限の効率と信頼性を提供するとともに、高い精度と再現性により汚染や廃棄物を最小限に抑えます。TEL CS-600は今後も半導体生産の基盤となります。