中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380665 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600フォトレジスト装置は、ウェーハ上の高度なフォトレジスト材料を300mmから200mmまでリソグラフィーパターンするために設計された包括的なプロセスシステムです。多層フォトレジストの加工に対応し、30nmの再現性で高精度な加工が可能です。高精度パターニングのための正確なフォーカスと線量制御を提供し、正確なパターン配置のための直接光学パターンイメージングユニットを備えています。TEL CS-600マシンは、高解像度画像の光熱投射（OTP）を使用して、正確なフォトレジストパターニングプロセスを実現します。OTPは、Pupil Imaging （PI）とFeature Brightness Compensation （FBC）による高度な投影光学技術とイメージング技術を使用して、レジストフィルムに高輝度の均質なマスク画像をもたらします。これにより、オフセンター露光、ボトム反射層（BARL）加工、多層工程での減衰パターニングなど、さまざまなパターニング技術が可能になります。PI技術はパターン要素の優れた解像度を可能にし、FBCはパターン要素のサイズによる明るさの違いを補償します。TOKYO ELECTRON CS-600は、高精度、高速、高解像度のパターニングを実現する高周波（最大300kHz）光音響スキャンを提供します。また、パターン転送や各種アライメントのためのウェーハプレーンのサブミクロン配置や、高度なイメージングやレジストマスキング機能のサポートも可能です。CS-600の温度制御機能は、一貫したパターニング結果を得るための均一なレジストフィルム厚さを提供します。トップサイドベーキング、コーティング、ベーキング、露出など様々な処理が可能です。また、TEL/TOKYO ELECTRON CS-600の極めて低温設定により、工程中のダメージを最小限に抑えることができます。TEL CS-600はユニバーサルレジスト加工に加え、様々な先進的なフォトレジスト材料の加工も可能です。単層および多層フォトレジストアプリケーションに対応するように設計されています。TOKYO ELECTRON CS-600の高速光学イメージングツールは、0。2umの精度でフォトレジスト機能を撮影することができます。フォトレジストアセットには、高度な分析制御および検査プロセスも装備されています。設計規則チェック、地形測定、露光線量制御、分解能測定、欠陥検査、汚染検査、ウェハ/ピクセル均一測定、粒子計測などがあります。CS-600は、リソグラフィーパターニングに優れた性能を発揮し、高度なフォトレジストプロセスを処理するための信頼性の高いモデルです。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は現在最高水準のフォトレジスト性能を提供しています。