中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、薄膜成膜用途向けに設計された半自動フォトレジスト装置です。ロボットウェーハプロセスユニット、プログラマブル空気/真空貯水池、プロセスチャンバーからなるコート/パンチシステムです。このユニットは、精度と精度により、ファインピッチリソグラフィ用途に最適です。TEL CS-600は、フォトレジスト、シリカ、アルミニウム、チタンなどの薄膜層を1つのプロセスで堆積させることができます。高速パターニングが可能で、接触リソグラフィと近接フォトリソグラフィの両方に容易に対応できます。また、レイヤーラインスペーサの形成も可能で、さまざまなパターンジオメトリに対応するツールの能力を高めます。東京電子CS-600は、フォトリソグラフィ、コンタクトリソグラフィ、近接リソグラフィなどの半導体とフォトトラフの両方のプロセスに適しています。ウェーハ表面は、感光材料の正確な均一なコーティングにさらされ、その後、フラッシュ露光でパターン化されます。CS-600は、10ミクロンから24ミクロンまでのピクセルサイズを必要とするさまざまなプロセスに対応できます。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600には、ウェーハを素早く正確に操作できる4軸ロボットアームを搭載。それは効率的なスキャン精度のために低コストで高速パターン転送と層の成長を可能にします。この資産には調節可能な真空チャンバーが内蔵されており、写真感受性層のレベルを制御して、連続した層の完璧な結合を保証します。TEL CS-600には、モデルの真空レベルの精度を常に最大化するプログラマブルエア/真空リザーバーが装備されています。空気/真空貯水池はあらゆる厚さのウェーハを収容するために調節可能です。また、東京電子CS-600にはゲートバルブを備えており、フォトレジストを貯蔵庫の中に保管し、酸化を防ぎます。CS-600は、薄膜層の大量生産に対応するために設計された高効率で信頼性の高いフォトレジスト装置です。精密かつ正確な性能により、ファインピッチリソグラフィー用途に最適です。システムの自動化されたロボット工学およびプログラム可能な空気/真空の貯水池はそれを非常にユーザーフレンドリーにし、優秀な結果を提供します。