中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9380656 を販売中

ID: 9380656
ヴィンテージ: 2000
Plasma cleaner 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600 Photoresist Equipment(フォトレジスト機器)は、半導体業界でシリコンウェーハのパターンを作成するために使用されるハイテク機器です。これは、半導体デバイスの製造プロセスの重要なステップであるフォトリソグラフィープロセスで使用されます。TEL CS-600は、ウェーハ表面に複雑で均一なパターンを作成するための化学プロセスを使用した洗練されたマシンです。このシステムはマルチエクスポージャー機能を備えており、複数のフォトレジストをウェーハ表面に堆積させることができます。この機能は、厳密なパターンや形状を作成することができます。また、レジストコーティングと計測検査スイートも含まれています。コーティングステーションは、ウェーハ表面にフォトレジストを分配し、計測ステーションは、高精度と再現性のために、その場で100%のレジスト層を検査します。TOKYO ELECTRON CS-600は、最先端の高速精密マスクアライメントユニットを採用しています。機械の自動パターン認識により、マスクパターンを正確に読み取り、正確に整列することができ、エラーや不正確さを排除します。高精度なアライメント機能により、誤った登録エラーを排除し、生産レートでより高い歩留まりをもたらすパターンを作成できます。CS-600はまた、完全に自動化されたセットアップと制御アセットを備えています。これにより、オペレータはプロセスレシピを自動的に実行し、再現性を持つことができます。このモデルはまた、オペレータがマシンの健康とパフォーマンスを維持および監視することを容易にします。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600はコンピュータ機器上で動作し、ハードウェアとのやり取りや出力データへのアクセスが容易になります。また、最も厳しいウェーハ製造要件を満たすように設計された非常に信頼性の高いシステムです。また、非常に効率的なユニットであり、限られたスペースを消費し、高速で信頼性の高いパターニングを提供します。全体として、TEL CS-600 Photoresist Machineは、半導体の製造に使用される高度で信頼性の高いデバイスです。高い精度と再現性を維持しながら、短時間でパターンを正確に生成することができます。
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