中古 TEL / TOKYO ELECTRON CS-600 #9379476 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、2つの主要部品を使用して、適切な材料の正確なパターン化された層を基板上に堆積させ、完成品を作成するフォトレジスト装置です。システムの2つの主要なコンポーネントは、リアクティブイオンエッチング（RIE）ユニットとエキシマレーザーです。RIEマシンは、材料のパターン化された層を作成するために基板と反応するためにエチャントガスを使用したり、必要に応じて不要な材料を除去したり、所望のパターンを作成するために、領域を選択します。エキシマレーザーはさらに材料を加えるか、または材料を選択的に取除くのに基質を変えるのに使用することができる紫外光を作り出します。TEL CS-600は、厚膜フォトレジスト、薄膜フォトレジスト、サブミクロンフォトレジストなどの複数のフォトレジスト用途に使用できます。厚膜フォトレジストを使用して基板上にパターンを作成することができます。薄膜フォトレジストは、より高い均一性と精度で基板上の精密パターニングに使用できます。サブミクロンのフォトレジストは、極めて高精度で高解像度の画像を必要とする非常に細かい機能やデバイスに使用できます。TOKYO ELECTRON CS-600のRIEツールはエッチング工程を最大限に制御し、エキシマレーザーは有機材料や無機硬質材料などあらゆる材料に高速パターニングを提供します。その制御ソフトウェアは容易なアクセスおよび使用を可能にし、回転視野が付いている光学パッケージは優秀なパターン性能を提供します。CS-600には、冷却機能やセルフクリーニング機能などの高度な機能も搭載しています。TEL/TOKYO ELECTRON CS-600は、信頼性の高い効率的なフォトレジスト運用プラットフォームを提供し、スループットと生産性の向上を図っています。また、ユーザーフレンドリーな費用対効果の高い資産であり、さまざまなアプリケーションに適しています。TEL CS-600は、高度な機能と技術により、フォトレジストのオペレーションに優れた結果を提供し、お客様に最適です。
まだレビューはありません