中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9399665 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackは、半導体メーカーが集積回路の製造に使用する先進的なフォトレジスト機器です。フォトレジストは、さまざまな基板上に回路を形成するために使用される光感受性化学膜です。これは、リソグラフィ、エッチング、沈着プロセスの様々なステップに服従します。TELクリーントラックシステムは、リスクを最小限に抑え、プロセスの精度を向上させるのに役立ちます。TOKYO ELECTRON Clean Trackユニットは、プロセスの感度の高いフォトレジストステップにさらされたウェーハの周囲に安定した一貫性のある環境を提供するように設計されています。粒子汚染の防止に重点を置いた複数のステージを備えており、最終製品の欠陥につながる可能性があります。これらの段階には、粒子前剤、静的制御、クリーンガス、粒子濾過、環境モニタリングおよびポストクリーニングが含まれます。粒子前剤は、Clean Trackチャンバー内の汚染物質を識別および除去するために使用されます。静的制御はまた粒子の汚染を引き起こすことができる部屋の内で造り上げることができる潜在的な静電気を防ぎます。クリーンガスは非常に濾過された混合物であり、チャンバー内に新しい粒子が導入されるのを防ぎます。粒子ろ過は、以前に除去された粒子に加えて、周囲環境から粒子を捕捉するアクティブろ過機です。環境モニタリングシステムは、TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックチャンバーに入る前に粒子を検出します。最後に、ポストクリーニングは、さらなる粒子elmininationのために行われます。TELクリーントラックツールは、半導体メーカーが欠陥を最小限に抑えた高効率プロセスで高品質の集積回路を製造するのに役立ちます。これは、リソグラフィ工程全体から粒子の汚染を排除することで実現され、各工程において厳格なプロセス制御を維持することができます。さらに、資産は、各ステップの製品が欠陥から解放されていることを保証することができます。TOKYO ELECTRON Clean Trackモデルは全体として、高い歩留まり、コスト効率の高い半導体製造の基盤となっています。