中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9374899 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackは、半導体デバイス製造プロセスで使用されるフォトレジスト機器です。デバイス製造時にフォトレジスト層から粒子、有機および無機膜、その他の汚染物質を除去するように設計されています。TELクリーントラックは、高強度イオン化ガスを利用してフォトレジスト表面から汚染物質を掃除します。このガスは、ガス供給ノズルと調整可能なガス圧力レギュレータを組み込んだシャワーヘッドアセンブリを使用してフォトレジスト表面に供給されます。圧力レギュレータは、さまざまなフォトレジスト層、表面化学、および粒子サイズに対応できるさまざまなガス供給圧力を提供するために調整可能です。東京電子クリーントラックには、イオン化ガスを10〜20 torrの最適な洗浄圧力で継続的に循環させる高性能ポンプも組み込まれています。このシステムは、静的フィルターを使用してガスストリームから浮遊粒子を除去するだけでなく、調整可能なガス圧力計とレギュレータを使用して、クリーンルーム用途に一貫したイオン化ガスフローを提供します。クリーントラックユニットには、レーザーイルミネーションや充電結合デバイス（CCD）イメージングなどの高度な光学技術を使用して、汚染物質のフォトレジスト層を監視するユニークなイメージングマシンが含まれています。また、粒子を観察するためのデュアルビデオ録画機能や、肉眼では見えない汚染も含まれています。また、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackでは、フォトレジストアプリケーションの前後に撮影した画像を比較するオーバーレイイメージング機能を提供し、プロセス監視を改善しています。全体として、TEL Clean Trackは、効率的な粒子除去、自動化されたプロセス、製造コストの削減を誇る堅牢で信頼性の高いフォトレジストツールです。半導体デバイスの製造に使用され、フォトレジスト表面から微粒子や有機汚染物質を除去するために特に有効です。TOKYO ELECTRON Clean Trackは、フォトレジスト層の完全性を維持し、プロセスの再現性と高い歩留まりを確保するために設計されています。