中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9360709 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackは、薄膜のレジストをウェーハに正確かつ一貫して堆積させるために設計された精密フォトレジスト装置です。TEL Clean Trackは、さまざまなマイクロエレクトロニクスデバイスで高解像度回路を製造するために開発され、20年近くにわたり商用化されてきました。TOKYO ELECTRON Clean Trackの設計は、基板にレジストを正確に適用するために設計された特殊な真空スタック成膜チャンバーです。チャンバーは2段階で動作します。まず、チャンバーの境界内に特定の抵抗の流れが作成され、基板に向けられます。適切なレジスト量を適用すると、スプレッダーを使用して基板を均一に塗布します。スプレッダーは、振動とレジストの均一な沈着を引き起こす超音波周波波によって動作します。Clean Trackの設計は、他のシステムに比べていくつかの重要な利点を提供します。まず、レジストは均一な層に塗布されるため、15ナノメートルまで精度の高いシャープで正確な回路線を生成します。これにより高密度電子部品の製造が可能となり、現行型のTEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックシステムは8ナノメートルという小型の特長サイズを実現します。さらに、レジストの正確な適用により、このシステムは数百万台のデバイスにわたって信頼性の一貫性を提供できます。最適なパフォーマンスとダウンタイムの削減を実現するため、TELクリーントラックユニットにいくつかの機能を組み込んでいます。最も注目すべき特徴は、リアルタイムの監視と処理パラメータの調整を可能にする高度なプロセス監視および制御システムです。これにより、ウェーハ品質の制御が強化され、アップタイムが増加します。さらに、危険な粒子がチャンバーに侵入するのを防ぐために、エアエジェクターを変更するなど、多くの安全システムが組み込まれています。最後に、東京エレクトロンクリーントラックは、信頼性と精度の高いフォトレジストマシンをマイクロエレクトロニクス業界に提供します。8ナノメートルまでの正確なライン幅、最先端のプロセス監視および安全システムにより、Clean Trackは比類のない精度と信頼性を提供します。