中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #9281924 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックは、半導体製造において正確なパターニングと高スループットを実現するフォトレジスト装置です。このシステムは、処理時間を最適化しながら、正確な機能を確保するために設計された一連のコンポーネントで構成されています。このユニットのコアテクノロジーは、従来のプロセスよりも露光時間の短縮を必要とする高度なフォトレジスト構成であり、1つのウエハに多くの機能をエッチングすることができます。フォトレジストを最大限に制御するために、このマシンには高度なイメージングモジュールが搭載されており、パターニングの精度と解像度を向上させます。さらに、このツールはレーザーを使用して、正確なエッチングとウェーハ上のフォトレジストの正確なアライメントを保証します。成膜には、ウェーハに一貫した特徴と均一な成膜を作成するのに役立つ高度な成膜戦略を使用しています。これにより、製造性が向上し、完成品の歩留まりが向上します。さらに制御を行うために、モデルには、ウェーハを特定の温度に加熱して材料を正確に処理する発熱体が含まれています。熱は迅速なサーマルサイクル接続にも使用され、プロセス時間と歩留まりの向上に役立ちます。時間をかけてツールの摩耗を保護するために、機器はまた、フォトレジストシステムの自動クリーニングが含まれています。これは、ウェーハから汚染物や残留物を除去する統合クリーニングサイクルによって達成されます。さらに、特殊な超音波洗浄プロセスを使用して、粘着と汚染を最小限に抑え、表面の均一性を向上させ、より正確なプロセスを可能にします。さらに、高度なアルゴリズムを使用して機能の最適配置をモデル化し、機能の整合性を維持しながらプロセス時間を最適化する高度なマテリアルコントロールマシンも備えています。このツールはまた、トレーサビリティを提供し、複数の本番稼働のデータを分析することで、プロセスをさらに改善することができます。要するに、TEL Clean Trackは、処理時間と歩留まりを改善するために設計された包括的なフォトレジスト資産です。高度なイメージング、成膜、洗浄戦略、および材料制御により、最終製品の品質を維持しながら、正確な機能を保証します。レーザー、自動洗浄、洗練されたアルゴリズムを使用することで、高品質の半導体デバイスを製造するための信頼性の高い効率的な方法を提供します。