中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293804761 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRONクリーントラックは、高度なフォトリソグラフィに使用されるフォトレジスト機器です。このシステムは、微細加工されたデバイスの製造中に精密なアライメントと分解能を確保するために、多くの先進技術を使用しています。TELクリーントラックユニットは、リソグラフィープロセスにおける粒子汚染の低減に焦点を当て、精密かつ正確なリソグラフィを可能にします。これは、効率的な空気ろ過、ほこり抽出、破片を収集して除去するプロセスなどのいくつかの技術を統合することによって達成されます。特定のプロセスは、使用されるリソグラフィ装置の種類によって異なりますが、通常は次のステップが含まれます。まず、機械はリソグラフィールーム内の空気をリサイクルし、静電気を発生させる粒子を除去します。これはまた部屋をほこりのない保つのを助けます。第二に、粉塵抽出ツールは、空気からの粉塵粒子をフィルタリングするために配置されています。これは、高効率のろ過、サイクロン粉塵分離器と活性炭の空気清浄技術の組み合わせによって行われます。第三に、アセットは、領域内の粒子がリソグラフィ室に入るのを防ぎます。リソグラフィ装置の高分解能領域に粒子が侵入するのを防ぐ効果の高い、チャンバーから吊り下げられた粒子を優しく除去するノズルを採用しています。第四に、装置は、製造されているデバイスのためのコンタクトマスクの正確なアライメントを確保するために、いくつかの技術を利用しています。これには、複数のタイプの光源、光フェルールアライメント、および高精度レーザーアライメント基準点の使用が含まれます。これらの機能はすべて、製造されているデバイスが正確に整列されていることを保証します。最後に、システムは正確なアライメントを確保するだけでなく、汚染物質がリソグラフィ室に入る可能性を減らすことができます。これは、リソグラフィ室の外にある二次洗浄ステーションを通じて達成されます。このステーションには、室内に持ち込まれた可能性のある破片や粒子を捕捉するための高効率フィルターが装備されています。TOKYO ELECTRON Clean Trackユニットは、多くの技術を駆使して製造されるデバイスの正確なアライメントと精度を確保する高度なフォトリソグラフィ装置です。このツールはまた、汚染物質のない環境を作成することにより、リソグラフィープロセスの汚染を低減するのに役立ちます。
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