中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293751150 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackは、半導体製造プロセスにおけるウェーハ加工用フォトレジスト装置です。このシステムは、安定した均一なレジストコーティング環境を提供するように設計されており、環境由来のレジスト欠陥の数を減らすことができます。このユニットは、トランスポートエキゾーストマシン（TES）、ユニフォームエリアコントロールツール（UACS）、ドライヤエリアインターロック資産（DAIS）の3つのコアコンポーネントで構成されています。トランスポートエグゾーストモデル（TES）は、全処理領域の入口/出口加圧を制御することにより、フォトレジストコーティング工程の安定した環境を維持します。TESは圧力を測定し、入口/出口の気流を制御し、低い乱流と最小限の汚染で効率的な気流を提供します。TESは、粒子分布の改善を確実にするのに役立ちます。UACS （Uniformity Area Control Equipment）は、ウェーハ上のレジストコーティングの均一性を提供するように設計されています。均一な空気の流れを利用して、ウェーハの表面積にわたるフォトレジストの均一な分布を維持します。これは、ウェーハ上で一貫した高品質のフォトレジストコーティングを製造し、歩留まりを改善し欠陥を低減するのに役立ちます。ドライヤエリアインターロックシステム（DAIS）は、乾燥プロセスに安全で安全な環境を提供するように設計されています。DAISは乾燥チャンバー内の入口と出口の気流を制御し、ウェーハ全体のレジストコーティングの均一性を確保します。DAISはまた、潜在的な危険のために乾燥室の環境を監視することによって安全性を高めるのに役立ち、必要に応じてウェーハを保護するために適切な措置を講じます。TEL Clean Trackは、半導体ウェーハの信頼性と一貫した処理を提供する高度なフォトレジストユニットです。この機械は、3つの主要なコンポーネントで構成されており、一様なレジストコーティング、改善された歩留まり、およびより少ない欠陥を提供するために協力しています。入口/出口の加圧、均一な気流、加工領域の湿度を制御することで、汚染物質を最小限に抑えたレジストコーティングを改善できます。この資産は、レジスト欠陥のリスクを低減し、高品質の製品と歩留まりを確保するのに役立ちます。