中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track #293587658 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Trackは、半導体製造装置のリソグラフィ工程で使用される特殊フォトレジスト装置です。フォトリソグラフィックとウェットケミカルプロセスを組み合わせて、半導体ウェーハ、フラットパネルディスプレイ、液晶などのアイテム基板を確実にパターン化します。単位は基本的に3つの主要な部品から成っている。露出モジュール、洗濯モジュール、乾燥モジュールです。露光モジュールは、光源とマスキングプレートを使用してリソグラフィパターニングを行うように設計されています。使用される光源は、ウェハの種類に応じて、レーザーまたは紫外線光源のいずれかにすることができます。マスキングプレートには、ウェーハに転送するリソグラフィー模様が含まれています。洗浄モジュールは、ウエハが露出した後に残りのフォトレジスト残留物を除去するために使用されます。このステップの間に抵抗の取り外し/エッチングの化学薬品は調節され、残りのフォトレジストの残余を取除くために溶媒（通常水）と同様に加えられます。このステップは、パターンの清潔さと正確さを確保するために正確に行われることが重要です。最後のステップは乾燥モジュールです。このステップは、露出したウェーハの表面の水分を除去するために使用されます。繰り返しになりますが、リソグラフィパターニングの精度を確保するためには、水分のレベルが非常に低いことが重要です。このステップでは、アルコールやイソプロピルアルコールなどの乾燥剤が乾燥プロセスをスピードアップするために使用されます。TEL Clean Trackのフォトレジストマシンは、ウェーハを迅速かつ正確にパターン化し、信頼性の高い結果を提供します。最先端のフォトリソグラフィックとウェット化学プロセスを組み合わせて使用することで、ターゲット基板上に正確なパターンとクリーンな表面が作成されます。さらに、モジュラー設計により、ユーザーの特定のニーズを満たすために簡単なカスタマイズと改善が可能です。