中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #9185659 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vzは、半導体リソグラフィの開発プロセスに必要な化学物質を保管・分配するフォトレジスト機器です。開発プロセス中に敏感な部品を保護し、汚染を低減するように設計されています。TEL Clean Track Mark Vzには、ケミカルデリバリーシステム、ケミカルトラッキング、ミキシング、マッチングなどの洗練された機能が組み込まれています。ノズル付きの流体搬送アームを使用し、精密かつ高速な薬品搬送を実現しています。アームは、さまざまな化学物質を格納するための中央タンクに接続されています。この機械は、一連のセンサを通して希釈された元の化学濃度を正確かつ正確に追跡することができます。これにより、目的の溶液強度を達成するために、薬品の希釈比を調整することができます。クリーニングタンクは、高純度レベルを維持するために非常に効率的に設計されています。全体のクリーニングプロセスは1秒未満かかります。また、開発プロセスで使用される化学物質の適切な取り扱いと追跡を保証するための高度な化学メンテナンスモデルも備えています。モジュラー設計は作動し、維持することを容易にします。溶接されたステンレス鋼の混合の部屋は漏出またはシステム故障の危険なしで堅牢な装置を提供するように設計されています。東京電機クリーントラックマークVzには、リソグラフィ開発プロセス全体で最適なプロセス条件を確保するための高精度精度制御ツールも含まれています。これには、化学レベル、温度、純度のモニタリングユニットが含まれます。機械は化学バランスをきれいにし、混合し、そして制御するためのいろいろな選択を提供します。Clean Track Mark Vzのすべての機能は、プロセス時間を最小限に抑え、スループットを向上させ、結果として生じる半導体リソグラフィ開発プロセスで最高レベルの品質を保証するように設計されています。