中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #293628523 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz Photoresist Equipmentは、半導体業界における精密微細加工と大量生産のために設計されたフォトレジストプロセスソリューションです。最先端のフォトレジストディスペンスとG3プロセス制御を組み合わせることで、プロセスの均一性を高め、メンテナンスコストと廃棄物を削減することができます。ユニットのコアはアプリケーションモジュールで、2つの事前整列ディスペンスチャンバーが含まれています。この構成により、分配変動を最小限に抑え、非常に均一で高解像度の結果をサポートします。チャンバーは溶剤を素早く切り替えることができ、幅広いプロセスの柔軟性を可能にします。温度、フロー、ディスペンス電圧補償の自動キャリブレーションと同期により、バッチからバッチへの反復可能な性能を維持できます。このマシンには、高度な制御ユニットであるMark Vz Controllerも含まれています。このインテリジェントツールは、自動化されたプロセス制御、統計的プロセス制御、フォトアライメント制御、より低い分配率の自動補正など、さまざまな機能をユーザーに提供します。オンボードソフトウェアは、高度な機能認識機能によりパフォーマンスをさらに向上させ、分配バリエーションの影響を最小限に抑え、ダウンタイムを最小限に抑えます。再現性を高めるために、アセットは4つの熱的に独立した温度センサを備えたクローズドループ冷却モデルで設計されています。これにより、温度精度が0。3°C以内に確保され、業界最高レベルの再現性を提供します。また、この装置は自動マスク交換ソリューションを提供し、プロセス管理の改善と効率的なオペレータのセットアップを可能にします。さらにパフォーマンスと精度を向上させるために、物理的および電気的プロセス機能も追加され、安全性、精度、およびスループットをより大きく制御できます。全体として、TEL Clean Track Mark Vzフォトレジストユニットは、半導体業界のニーズに合わせた高性能、低メンテナンスのフォトレジストソリューションです。均一な分注、高度なプロセス制御および制御、および高い再現性と精度を組み合わせることで、このソリューションは比類のないレベルの性能、品質、コスト効率を提供します。