中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vz #142532 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark Vzは、汚染を最小限に抑えながら、信頼性の高い迅速なフォトレジスト調製を実現する高性能フォトレジスト装置です。このシステムは、トラックベースのクリーニングプロセスを備えており、クローズドループを使用してサンプルをロードしてアンロードするとともに、環境を清潔に保ち汚染のない高性能プロセスチャンバーを備えています。このユニットは、ユニークなトラックベースのクリーニングアーキテクチャを使用しており、汚染に対する比類のない保護を提供します。これには、機械の環境への粒子の放出を防ぐ封じられた輸送トラック、クリーンルームの床、およびトラックの出口側への入り口から最適化された気流と清潔さを確保するための特別に設計された濾過ツールが含まれています。チャンバーはステンレスメッキのインテリアと陰極電解コーティングで構成され、チャンバー環境に最適な清浄度を実現しています。部屋の壁は赤外線を反映し、光の精密な焦点を保障するために特別な誘電ミラーのコーティングと上塗を施してあります。このチャンバーには、シャッターと気流インピングメントアセットがセットになっており、地元の清掃や汚染対策に役立ちます。また、事故や混乱を防ぐための複数の安全機能も備えています。このモデルはまた、ユーザーの特定の要件を満たすために調整することができ、異なる速度で高速トラック洗浄プロセスを誇っています。これにより、大小さまざまなサンプルの洗浄を正確に制御できます。トラッククリーニングプロセスは、調整可能な速度スクラビングローラーとエアフローを使用して、汚染のない結果を保証することによってさらに強化されます。この機器は、フォトレジスト沈着のリアルタイム監視、データロギングと分析、自動レシピ生成、デフォーカスとリピートのレシピ実行、サンプル処理、最終レポート管理などの機能を提供するユーザーフレンドリーなソフトウェアによってさらに強化されています。ユーザーインターフェイスは直感的で使いやすく、最適な使用のための広範なトレーニングを必要としません。全体として、TEL Clean Track Mark Vzは、さまざまなアプリケーションに最適な、信頼性の高い、汚染のない、高性能フォトレジストシステムを提供します。トラックベースのクリーニングプロセスにより、任意のサイズのサンプルの準備を正確に制御でき、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、初心者でも簡単に使用できます。