中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9395945 を販売中
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ID: 9395945
ヴィンテージ: 1995
Coater / Developer system
COT
ARCCOT
(2) DEV
WEE
Missing parts:
AD ASSY Unit
UL200T-L1
Circulator
Main arm
C/S Unit bottom fan
(6) Fuses, 2 A
T&H CPB-2-M2, Cup temperature cooker body
WEE Driver ASSY
Surge Tank Controller
Inheritor PC
Spin motors
Spin drivers
I/D X-axis driver
I/D Y-axis driver
I/D Z-axis driver
1995 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体およびFPD製造プロセスにおいて高品質なパターンを作成するために設計された、高精度で自動化されたフォトレジスト装置です。フォトレジストは、基板上にパターンを作成するために使用される光感受性ポリマー材料です。TEL Clean Track Mark 8は、フォトレジストの高精度かつ再現性の高いパターニングを実現することに重点を置いています。迅速で信頼性の高い露出機能を提供し、一貫した精度と高品質のパターンを保証します。このシステムは、正確な位置決めを保証する強力な信号処理と制御を備えた堅牢な制御ユニットを備えています。また、高精度なビームスキャンを搭載し、1ナノメートル以下の再現性を持つナノスケールパターンを作成することができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高解像度リニアエンコーダ、ステッピングモータコントローラ、ボイスコイルモータコントローラを内蔵したモーションコントロールマシンです。これにより、さまざまなアプリケーションで正確なモーションコントロールが可能になります。画像解像度は最大13um （0。0005インチ）で、幅広いアプリケーションの要件を満たしています。クリーントラックマーク8には、レンズ収差を最小限に抑え、非常にコヒーレントで均一な電子ビームを提供する高度な電界放出電子ビームも組み込まれています。この高分解能電子ビームは、低エネルギーの電子露出と短筆時間を可能にします。このツールはまた、汚染制御を改善し、機器の性能に対する環境変化の影響を最小限に抑えます。この資産は、生産ラインへの容易な統合のために設計されています。ユーザーフレンドリーなタッチパネル液晶は、ワイヤレスリモコンとジェスチャーベースのコマンドで操作できます。このモデルには生産性監視ソフトウェアも内蔵されているため、製造メーカーはプロセスの進捗状況を簡単に追跡し、プロセス内の状況を完全に管理できます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高精度、高効率、高生産性を実現します。このフォトレジスト装置は、半導体およびFPD生産ラインのニーズを満たすように設計されており、高品質で高性能な結果を保証します。
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