中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9375656 を販売中
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ID: 9375656
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1997
System, 8"
SMC INR-244-110D Thermo controller
(3) SMC INR-244-112A Chillers
(5) SMC INR-244-113B Thermo controllers
SHINWA T&H-CPC-1-NL THC Unit
Wafer transfer robot
Process robot
(5) Ovens
(5) Coolers
(2) Coater units
DEV Unit
Adhesion unit
Board set
PC
Chemical tank
Mass flow control
AC Rack
(2) UPS
SMIF Module:
INTERNOVA INC ICLS-RTX
Main controller
Driver part
1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、最高のリソグラフィ用途向けに設計されたフォトレジスト機器です。このシステムは、カチオンレジストと呼ばれる新しいタイプのレジスト技術を使用しており、リソグラフィープロセスの露出を監視、トリミング、制御するための比類のない能力を備え、高精度と精度を提供します。このユニットは、コントロールセンター、ウェーハ露出/加工ユニット、アライナー、電源の4つの主要コンポーネントで構成されています。コントロールセンターを使用すると、露出パラメータを設定し、露出レベルを監視し、アライナーの動きを制御できます。ユーザーはまた、マシンと通信し、露出プロセスパラメータを変更することができます。ウェーハ露出/加工ユニットには、2方向に可動するクォーツテーブルと、ユーザーが異なる基板を実行し、異なる温度でタイプに抵抗することができるチャンバーが含まれています。アライナーは、ウェーハのアライメントを正確に制御し、各ウェーハを正しいレーザービームに露出させて所望のプロセス結果を達成するために使用されます。このツールには、高精度で再現可能な露光の適用をサポートする高度な電源も装備されています。TEL Clean Track Mark 8には多くの高度な機能が組み込まれています。これは、プロセスの安定性と精度を向上させ、一貫した再現性のあるパフォーマンスを提供する高度なプロセス制御アセットを備えています。このモデルはまた、リソグラフィー処理を改善し、より良い結果を達成するためにプロセスデータを監視し、分析することができます。ウェーハ露出/加工ユニットは、均一性を向上させるように設計されており、さまざまな基板やレジストに対応できます。装置はまたシステムを監視し、制御する便利な方法を提供する高度のグラフィックユーザーインターフェイスを装備しました。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、先進的な半導体製造やマイクロエレクトロニクスデバイス製造などの用途に最適です。カチオンレジストの特長を活かした超精密光学制御を実現し、正確な制御と露光の再現性を提供します。Clean Track Mark 8は、リソグラフィープロセスを監視および制御する信頼性の高い効率的な方法をユーザーに提供することにより、開発時間の短縮と製品の市場投入までの時間の短縮を可能にする高品質な結果を保証します。
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