中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9372744 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9372744
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(2) Coater / (2) Developer system, 8" Interface Single block ASML Stepper Wafer flow: Right to left 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 (CTM-8)は、半導体製造用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。フォトレジストは、リソグラフィープロセスでパターンを作成するために使用される光感受性材料であり、多くの電子製品の基礎を形成する複雑なデザインを作成するのに役立ちます。CTM-8システムは、半導体チップの量産と試作の両方のパターンの迅速かつ正確な開発を可能にします。CTM-8ユニットは、Positive Resist SE 1455と呼ばれるフォトレジスト材料を使用して、基板に負のリリーフを作成することによって動作します。まず、レジストの薄い層で被覆され、マスクを通して紫外線にさらされ、基板上にパターン化された画像を形成します。CTM-8機械は正確なパターン移動を保障するために紫外光への基質の精密で、反復可能な露出を可能にします。このツールには、自動プロセスおよびデータ監視(APDM)ソフトウェアが装備されており、印刷プロセスとパターンの再現性を改善することができます。フォトレジスト自体はライン幅とエッジ配置精度の両方に敏感であり、適切なパターン転送を保証するために開発中に加熱する必要があります。CTM-8アセットにはレジストヒーターとシャッターモデルが内蔵されており、レジストを自動的に加熱して一貫したエッチングを行い、レイヤーの光透過性を最適化します。また、CTM-8装置は、パターン転送精度を向上させ、基板上の粉塵粒子の沈着を防止し、プロセスの再現性を向上させるために、多段式腐食保護ユニットを備えた高度な真空システムを備えています。最後に、CTM-8マシンは、包括的なユーザーインターフェイスを介して簡単に校正および監視することができます。これにより、経験豊富なユーザーと経験の少ないユーザーの両方が、ツールのパラメータをすばやく制御し、提案されたすべてのプロジェクトの正確な結果を確実にすることができます。高度なソフトウェアとハードウェア機能を備えたCTM-8は、高品質の半導体デバイスを迅速かつ効率的に製造するための理想的なフォトレジスト資産です。
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