中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269254 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、湿式化学プロセス用に設計された先進的なフォトレジスト装置です。RobotCVision超高精度マシンビジョンシステムとVPCVD （Vacuum Pressure Chemical Vapor Deposition）プロセス技術の2つの主要コンポーネントで構成されています。RobotCVisionは、超高精度で高速なスキャン技術を採用しており、フォトレジストパターンサイズ、アライメント、間隔を正確に制御できます。一方、VPCVDプロセスは、エッチング処理中にウェーハ表面に薄膜を堆積させるために利用されます。この2つのコンポーネントを組み合わせることで、扱いやすく、汚染を最小限に抑え、ウェーハの表面仕上げを高精度かつ均一にすることができます。TEL Clean Track Mark 8は予めプログラム可能で、成膜速度とエッチング速度の両方を最適化する自動チューニングを可能にし、ユニットのダウンタイムを最小限に抑えながら一貫した高品質な結果を保証します。また、熱管理技術も組み込まれており、自由形状のプロファイル調整が可能です。ウェーハは薄膜にさらされ、フォトレジストは正確さを確保するために、制御された均一な方法で適用されます。このマシンにはデュアルベークプレート機能も搭載されており、プリプロセスおよびポストプロセス操作に焦点を当てています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8ツールは、フォトレジスト加工の信頼性と堅牢性に優れたソリューションです。ウェーハ処理のための包括的なソリューションをユーザーに提供し、最高のアスペクト比であっても、すべてのウェーハ全体で優れたプロセス均一性を提供します。また、ウェーハエッチングや薄膜成膜にも費用対効果の高い選択肢であり、再現性と信頼性の高いフォトレジストプロセス結果を保証します。RobotCVisionおよびVPCVDテクノロジーは、マルチレベルのプロセス制御を提供し、モデルから一貫した許容可能なパフォーマンスを保証します。さらに、Clean Track Mark 8機器の高度な制御アルゴリズムにより、迅速でスムーズなレシピ移行が可能になり、プロセスの堅牢性が向上します。