中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269249 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、現代の半導体メーカーのニーズに対応するために設計された、フォトレジスト機器です。ウエハーからフォトレジストを堆積・剥離し、精度の高い複雑なパターンを作り出すシステムです。TEL Clean Track Mark 8は、フォトレジストを露出・不溶解化する電子ビームと、エッチング処理を完了するための化学アッシング処理を使用しています。このユニットは、ライン幅を0.35µmまで正確にエッチングすることができます。この機械は、自動化されたプログラム可能なレジストディスペンスと除去を備えており、フォトレジストの正確な沈着と除去を保証します。均一に薄いレジスト層を確保するために、クリーントラックマーク8には自動傾斜インターバルツールが装備されています。このアセットにより、直径8インチのウェーハでのディスペンスとストリップの再現性と均一性が可能になります。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8の特徴であるガスシャワーは、ウエハ表面から残留物や粒子などの汚染物質を除去するのに役立ちます。このモデルはまた、基板表面の粒子の最小レベルを維持するように設計されている粒子密度制御装置を備えています。システム内部では、レジストディスペンス機構はステンレス鋼から構築されています。これにより、レジストの蓄積を回避し、磁性粒子が露出プロセスに干渉しないようにします。全体的に、クリーントラックマーク8は、細部と信頼性に最も注意を払って設計されています。優れた真空アームとウェーハクランプ設計の組み合わせは、自動傾斜間隔ユニットと相まって、最新の半導体製造ニーズに最先端の信頼性と最高精度の結果を提供するフォトレジストマシンを作成します。