中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269235 を販売中

ID: 9269235
(2) Coater / (2) Developer system.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体デバイス製造に使用される最先端のフォトレジスト機器です。汎用性が高く信頼性の高いシステムで、幅広いプロセスアプリケーションをサポートするように設計されています。ユニットには、ビジョンマシン、フルオートトラック、スピンリンスドライヤー、クリーンルームが含まれています。ビジョンツールは、ウェーハパターンやフォトマスクパターンなどの機能を認識して識別する責任があります。ビジョンアセットはデジタルイメージングモデルと統合されており、効果的かつ正確な操作が可能です。TEL Clean Track Mark 8は、クリーンルーム環境内でウェーハ、フォトマスク、その他の材料を自動処理します。これは、単一の厚膜トラックを備えており、均一で制御された開発プロセスを可能にします。高速スピンリンスドライヤーも装備しており、ロットの最適化と予測が可能です。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高速処理サイクル、部品の正確なアライメント、100%クリーンルーム機能などの優れた機能を備えています。さらに、この装置は高度で自動化されたメンテナンスシステムを提供し、真のシングルレベルの操作と高速ユニットのセットアップを可能にします。クリーントラックマーク8は、人間工学に基づいたトラックに組み込まれたモジュラー設計と最新のオートメーションマシンを使用しており、優れたスループットで生産効率を最大限に高めます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、信頼性の高い高性能で効率的なフォトレジスト(PR)ツールを必要とするあらゆる施設に最適なソリューションです。その統合されたビジョンアセット、高速トラック、効率的なスピンリンスドライヤーは、最も厳しい要件やプロセスシーケンスにもマッチする機能を提供します。さらに、優れたメンテナンスモデルは、機器の寿命を延ばし、総所有コストとメンテナンス関連の生産遅延に対する感度を大幅に削減します。
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