中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9269233 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8フォトレジスト装置は、半導体産業におけるフォトリソグラフィの効率的かつ汎用性の高いツールです。ウェーハにフォトレジストを正確に堆積させ、不要なフォトレジストを除去するように設計された完全自動化システムです。コンパクトな設計とユーザーフレンドリーな操作により、最小限の廃棄物で最大の生産性を保証します。TELクリーントラックマーク8は、溶剤ベースのスプレーフォトレジスト装置です。200mmウェーハ用に設計されたこのユニットは、最大6インチウェーハの高スループットを提供します。ウェハローディング、アプリケーションパラメータ、プログラム可能な機能設定など、柔軟性に優れています。高度なケミカルデリバリーマシンは、均一な広域カバレッジを提供し、自動化されたクリーニングモジュールは優れた残留物の除去を提供します。このツールは、基板上にフォトレジストの安定した均一なコーティングを提供する熱噴射モジュールを内蔵しています。また、リソグラフィック処理中のウェーハの転送を容易にする自動ウェーハチャッキングアセットも含まれています。その4つの統合モジュールは、フォトレジストの分配だけでなく、効率的な洗浄、洗浄、ディスペンスされたフォトレジストのコレクションを提供します。高品質な性能を確保するため、東京電機クリーントラックマーク8フォトレジストモデルには、高度な光学検査装置が搭載されています。このシステムは、フォトレジストアプリケーションの前にウェーハ上の欠陥または汚染を識別するだけでなく、プロセス後にウェーハ上の非標準の領域または欠陥を検出するのに役立ちます。Clean Track Mark 8は、あらゆるタイプのフォトレジストプロセスにとって費用対効果の高いソリューションとなるように設計されています。また、非常に効率的であり、無駄な時間とリソースを削減します。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、ユーザーフレンドリーな操作、包括的な機能、優れたクリーニングモジュールにより、高品質な結果を得るための貴重なツールです。