中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9266470 を販売中

TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8
ID: 9266470
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 1996
(1) Coater / (2) Developer system, 6" Dual block 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体ウェーハ上での高度なフォトリソグラフィ作業用に設計されたフォトレジスト装置です。このシステムは、生産能力の現在の基準を上回り、一貫して高品質のフォトリソグラフィ作業を達成するように設計されています。TEL Clean Track Mark 8は、高度な画像キャプチャ機能を備えており、最小かつ最も複雑なフォトリソグラフィーマスクの高解像度イメージングを可能にします。このユニットは、既存のTELシステムに統合することで、サイクルタイムとメンテナンス要件を大幅に削減し、コストを削減し、顧客価値を向上させることができます。フォトレジストマシンは、比類のないフォトレジストイメージング用の高度なミラーツールと、ウェハの精密かつ簡単な操作を可能にする特許取得済みの電動ステージ資産を備えています。また、剛性のあるフレーム設計を採用し、部品や部品の迅速な交換を可能にし、メンテナンスや修理を迅速に行うことができます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、最先端のソフトウェアアーキテクチャも提供しています。この装置は、フォトレジストの厚さとレイヤーの完全性の両方を自動化し、継続的に監視され、速度や精度を損なうことなく一貫した高解像度イメージングを維持するのに役立ちます。また、ディープUV、 ArF浸漬、ステップアンドスキャンなど、さまざまなプロセス要件に合わせてさまざまなフォトレジストをサポートします。さらに、高度な設計により高い操作性を実現し、様々な生産規模や基材に合わせたカスタマイズが可能です。革新的な設計により、新しいプロセスパラメータを簡単に機械に組み込むことができ、性能が低下することはありません。このツールは、専用メモリと最大の柔軟性とパフォーマンスのための組み込み32ビットプロセッサを備え、さまざまなファンクションブロックのベースをサポートしています。要するに、Clean Track Mark 8は、現在の生産能力の基準を上回るように設計された先進的なフォトレジスト資産であり、一貫して高品質のフォトリソグラフィ作業を実現しています。このモデルは、高度なミラー機器、特許取得済みの電動ステージシステム、および自動ソフトウェアアーキテクチャを提供し、サイクルタイムとメンテナンス要件を削減します。さらに、さまざまな生産スケールや基材に対応するため、柔軟なカスタマイズ設定をサポートしています。これらの特徴は、堅牢な構造と柔軟性に加えて、TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高度なフォトリソグラフィ作業に最適です。
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