中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250397 を販売中
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ID: 9250397
ウェーハサイズ: 8"
(2) Coater / Developer system, 8"
Upgraded from Mark 7
Single block.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8フォトレジスト装置は、より小型で複雑な集積回路設計を可能にするように設計されています。半導体基板上の詳細なミニチュア画像やパターンを作成することができます。TEL Clean Track Mark 8には、最適な輪郭定義を確保するためにTELが独自開発したFLEXI-DEVELOVE (TM)技術があります。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、FLEXI-DEVELOVE (TM)技術を用いて、フォトリソグラフィ技術により半導体基板のフォトレジスト層に画像を露出させます。フォトリソグラフィー(Photolithography)とは、紫外線を用いてフォトレジスト層の写真のモアレ模様を作成するプロセスである。光は、フォトレジスト層を露出するパターンを持つフォトマスクを通過します。露出されると、レジストレイヤーは定義済みのdesghnパラメータに従って開発されます。結果として得られた画像は非常に高解像度であり、オブジェクトを基板に正確にエッチングすることができます。また、優れたプロセス制御と均一な湿式開発を提供するように設計されています。これにより、さまざまなプロセス要件にわたる高信頼性の生産が可能になります。Clean Track Mark 8には、広範なプロセス制御機能もあります。それに温度を制御し、露出率に抵抗し、そして開発の後でクリーニングする高度の自動ランタイムマネージャーがあります。システムには、レジスト機能を継続的に監視して正確性を確保するための計測パッケージも内蔵しています。さらに、このユニットは、プロセスの変更に対応するために迅速かつ正確にレシピを変更するパフォーマンスを持っています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、メモリチップ、ロジックチップ、CMOSイメージセンサーなど、半導体工程の様々な動作に使用できます。高出力、超薄型アプリケーションに適しており、さまざまなプロセス技術ノードで使用されています。複数のパターニングアプリケーションをサポートする能力を持ち、個々のニーズに応じてプロセスをカスタマイズするための可変速度制御機構を備えています。全体として、TEL Clean Track Mark 8フォトレジストマシンは、多くの業界で半導体加工に先進的な設計ソリューションを提供しています。信頼できる正確な画像、プロセス制御機能、レシピの柔軟性を提供し、最適なデバイス性能を保証します。
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