中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250396 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、ドライエッチング用途に特化した画期的なフォトレジスト機器です。このシステムは、従来のウェットエッチングプロセスと比較して、エッチングフィーチャーの2倍以上の精度と極端な均一性を提供するための新しいプロセスを利用しています。TELクリーントラックマーク8は、大気圧プロセスチャンバーと専用レジスト除去チャンバーを内蔵した2チャンバーユニットで構成されています。エッチング前にエッチング工程を独立して最適化できる基板板に自動的にフォトレジストを配置するために、場所とエッチングローダーが使用されます。プロセスチャンバーには0。1 mbarまでの真空レベルが含まれており、プラズマガス源と入力ガス源の使用と組み合わされています。プラズマガス源はエッチング前に基板表面を窒素化するために使用され、入力ガス源はフォトレジストと反応して基板をエッチングするために使用されるプラズマエネルギーを作成するために使用されます。プロセスチャンバーのユニークな設計は、特許取得済みの「ダイレクトドライブ」を備えており、チャンバの外部電源を必要としません。この機械はまたエッチング工程の間に不要な粒子生成を減らし、きれいで、均一なエッチングを保障するように設計されています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8には、耐薬品性に優れたステンレス素材のチャンバー設計も施されています。この設計は、交差汚染を排除し、チャンバー内の材料の長期的な腐食を排除します。チャンバーは、エッチングプロセスの性能を確保し、ガスや粒子の漏れを防ぐために、ユニークに密封されています。さらに、チャンバーは温度調整され、一貫したエッチング結果を保証します。Clean Track Mark 8のコントロールツールは、高度なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）とメンテナンスと分析のための簡単なリモートアクセスを備えています。このアセットにより、温度、圧力、電流、ガス濃度などのプロセスパラメータを監視できます。これらの制御により、プロセスのトレーサビリティとエッチングパラメータのデータロギングが可能になり、エッチングプロセスの最適化が可能になります。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、大気中に放出される揮発性有機化合物（VOC）の低減など、安全性と環境に配慮して設計されています。経済的な設計により、このモデルはより少ないエネルギーを必要とし、運用コストを削減します。全体として、TEL Clean Track Mark 8はドライエッチング用に特別に設計された画期的なフォトレジスト機器で、ユーザーに正確で一貫した結果を提供します。高度な設計により、東京エレクトロンクリーントラックマーク8は、エッチング工程の改善を検討されているお客様にとって、信頼性の高い、費用対効果の高い選択肢となります。