中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250395 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、マイクロトランスファーと高性能ウエハハンドリングシステムを搭載したフォトレジスト機器です。300mmまでの高品質なフォトレジスト加工が可能です。TELクリーントラックマーク8ユニットは、真空適合性をサイクルするためのオプションのセットを提供し、ドライストリップ/エッチング、クリーニング、エッチング、スピンコートなどのさまざまなアプリケーションに適しています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、ターゲットまでの優れたウェーハアライメント精度、信頼性、ペイロードを提供するように設計されています。この機械の高速アライメントツールは、ウェーハに損傷を与えることなく安全な転送を可能にします。このアセットはまた、フローティングトラックの必要性を排除し、ウェーハ転送中のウェーハチャッキングの問題を排除するユニークな構造を備えています。Clean Track Mark 8モデルのマイクロトランスファーは、ロータリープラットフォームに基づいており、複数のウェーハを同時に転送することができ、プロセスのスループットが向上します。また、高速で高解像度のカメラを備えており、フォトレジストを正確にウェーハに配置して登録することができます。このカメラは、パターンの微細な変化を検出できるイメージングシステムを備えており、高度なパターン化されたデバイスの製造に最適です。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8ユニットのもうひとつの特徴は、ハイエンドのウェハハンドリングマシンです。このツールは、複数のウェーハの同時ロードとアンロードを可能にし、プロセスのコストと時間を最小限に抑えます。このアセットは、自動せん断および石英切断だけでなく、自動化されたバッチ処理も提供します。これにより、初期段階から最終段階までウェーハを効率的に処理し、時間を節約し、効率的なプロセス制御を提供できます。このモデルはまた、効率的なプロセス制御のための高度なツールとライフサイクルサービスを提供します。プロセス監視、プロセス検証、プロセス診断などがあります。さらに、TEL Clean Track Mark 8機器には、統合プロセスシミュレーションソフトウェア、SOPおよびレシピ管理システム、予測メンテナンスユニットも搭載しています。最後に、TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8マシンは、総合的な安全機能により、すべてのフォトレジストプロセスの精度と安全な動作を最適化するために設計されています。これらの機能には、圧力に敏感なガラスウェーハチャック、安全スイベルドア、インターロック、およびその他の安全機能が含まれます。これらの機能は、オペレータの安全性を確保し、信頼性とパフォーマンスを提供します。