中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9250393 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、集積回路の製造に使用される半導体デバイスのフォトリソグラフィ機能を作成するためのフォトレジスト機器です。このシステムは、2つの光源を使用して、フォトレジスト、集中光源、スキャン源をパターン化します。焦点光源はパターンの1つの層を作成するために使用され、スキャン源はフォトレジストパターンの連続した層を作成するために使用されます。焦点光源は、一連のレンズを通してフォトレジスト層に集中するレーザービームで構成されています。この焦点ビームはフォトレジストに電力を供給し、それによってクロスリンクしてパターンを形成します。その後、パターンはフォトレジスト層に転送され、さまざまなパターニング技術を使用して異なる結果を得ることができます。スキャンレーザーソースは、フォトレジストをパターン化するために使用されます。レーザービームはフォトレジストに焦点を当て、フォトレジスト層を横切るラスターパターンで発射します。この発射パターンはレイヤーごとに繰り返されるため、複雑さが異なります。レーザービームは、余分なフォトレジストをエッチングするためにも使用され、基板に所望のパターンを残します。TEL Clean Track Mark 8ユニットは、0。13マイクロメートルまでの大きさのパターンを生成することができ、他のフォトレジスト機では実現できない微細なパターンを生成することができます。このツールは、他のフォトレジストシステムよりも火災やエラーが発生しやすく、半導体デバイスを作成するための信頼性の高い選択肢となります。さらに、アセットは他のシステムよりも処理時間が短く、製造者にとってより効率的な選択肢となります。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、0。13マイクロメートルのサイズまでのパターンを作成できる、信頼性と効率の高いフォトレジストモデルです。この装置は、集積回路の製造に使用される半導体デバイスのフォトリソグラフィック機能を作成するために使用されます。フォーカス光源とスキャン光源の2つの光源を使用してフォトレジストをパターン化し、高い精度と精度を実現します。このユニットは他のシステムよりも誤射やエラーが発生しやすく、メーカーにとって理想的なソリューションです。