中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9238274 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、薄膜デバイスの大量製造・検査用に設計された最先端のフォトレジスト機器です。ウエハリソグラフィ用途向けの化学系フォトレジスト材料の精密かつ正確な取り扱いが可能です。Mark 8は、精密な測定と制御を使用して、ウェーハ上に精密な表面コーティングと露出抵抗を生成する完全自動噴霧およびウェーハ処理システムを備えています。Mark 8はシングルソースのフォトレジストユニットであり、フォトレジストフローと基板準備プロセス全体を実行できます。これには、プリクリーニング、ウェーハ加工、フォトレジスト材料の成膜が含まれます。その高度な検索とアライメントマシンは、フォトマスクがフォトレジスト層のそれぞれのパターンと正確に一致するように設計されています。さらに、光学ゾーン検出システムはフォトレジストフィルムの構造の微妙な誤差を認識し、プロセスの品質と精度を保証します。Mark 8の高度な技術により、ポリメリックレジストフィルム、ポリイミドフィルム、フォトレジストインキなど、複数の薄膜フォトレジスト材料を正確に処理できます。その結果、エッチング、成膜、成形、リトエッチングなどの複雑なフォトリソグラフィ作業を容易に実行できます。さらに、Mark 8には複数のウェーハ操作と機能も含まれており、柔軟性と汎用性を高めています。ナノメートルスケールからミクロンスケールまで、幅広いパターンに適しています。パターンの精度と再現性を確保するために、Mark 8は高度な熱管理技術と非常に低い電圧駆動モデルを採用しており、ウェーハ表面に電気的損傷を与える可能性があります。さらに、Mark 8のホットプレートの温度制御によりウェーハ表面を調整することができ、精度と信頼性がさらに向上します。全体として、TEL Clean Track Mark 8は、幅広いリソグラフィ用途向けに薄膜フォトレジスト材料を正確かつ正確に処理するように設計された先進的なフォトレジスト機器です。自動化されたプロセスと正確なウェーハハンドリングにより、マイクロスケールとナノメートルスケールのウェーハにおいて、正確で再現可能なパターンを実現できます。