中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9184205 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体製造プロセス向けに設計された先進的なフォトレジスト装置です。これは、高精度で効率的に開発、露出、後処理の重要なステップを実行することができます。これにより、特性を最適化し、パフォーマンスを向上させたさまざまなデバイスを作成できます。システムの中心には、強力なディープUV露出源があります。ウェーハ表面全体に均一な照射を提供し、パターン分解能とライン/スペース幅を正確に制御できます。露光時間は、より小さなフィーチャーサイズとより高いアスペクト比のために調整することができ、密接な間隔の線とより複雑なジオメトリを含むより複雑なパターンを可能にします。このユニットには、高精度のペリスタルポンプを使用して、開発者の化学物質を制御された速度でウェーハに適用するケミカルディスペンスマシンが装備されています。これにより、フォトレジストは必要な強度と均一な方法で開発されます。ポストトリートメントプロセスは、開発者パッドの傾きと速度、および化学分配率を微調整できるStatic&Dynamic Balancing機能で最適化されています。Mark 8は最大のオペレータ安全のために設計されています。発煙抽出ツールが内蔵されており、空気中の化学物質やラボの汚染を自動的にフィルタリングし、ユーザーを暴露から保護します。さらに、この資産は、腐食性の化学物質の取り扱いと有害物質の保管と廃棄をカバーする厳格な規制に適合または超過するように設計されています。最高レベルの性能と信頼性を確保するために、このモデルは厳格にテストされ、配信される前に校正されます。これには、さまざまなシミュレーションを実行してフォトレジスト層の欠陥レベルの影響をシミュレートし、任意のアプリケーションに最適な設定を決定することが含まれます。TEL Clean Track Mark 8は、柔軟で費用対効果の高いフォトレジスト加工を可能にするために開発されました。光エネルギーレベルの精密な制御、化学物質の精密な分配、ダイナミックバランシングおよび自動安全機能により、半導体製造に最適なツールです。