中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9158018 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 （CTM-8）は、半導体材料の高解像度高速パターニングを実現するフォトレジスト装置です。さまざまなユースケースに適した機能と機能を幅広く提供しています。CTM-8はコートステーションと開発ステーションの2つの主要部分で構成されています。コートステーションは、基板ローディングシステム、加熱真空チャンバー、レジストコーティングヘッド、およびローディングマシンから開発ステーションに基板を転送するためのコンベアユニットで構成されています。開発ステーションには、加熱された真空チャンバー、エッチング源、および2つの間を基板を移動する個々の基板輸送ツールが含まれています。CTM-8には高解像度の光学イメージングアセットを搭載しており、0。2 μ mの解像度を実現しています。精密で高精度な繊細な素材のパターニングを可能にします。このモデルはまた、正確な基板アライメントを提供し、迅速で正確なパターニングを可能にします。さらに、CTM-8にはエッチング基板上の残留物を効率的に除去する自動洗浄プロセスが装備されています。CTM-8は、フォトレジストコーティングプロセスを最適化するように設計されています。独自のレジストコントロール機能を搭載しており、ユーザーは適用されたレジストの厚さを正確に監視および制御できます。これにより、各プロセスの実行中に反復可能で信頼性の高い結果が保証されます。さらに、この機器はスマートプロファイルコントロールを備えており、均一なレジストラインプロファイルを維持するのに役立ちます。CTM-8はまた、運用およびメンテナンスのパフォーマンスを向上させるように設計されています。ガス回収システムを内蔵しており、ガス消費量を削減し、操作性を向上させます。さらに、ノズルのメンテナンスを簡素化し、ダウンタイムを低減するクイックチェンジノズル機を搭載しています。さらに、このツールには、迅速かつ簡単な操作のためのメニュー駆動のオペレータインターフェイスと、リモートトラブルシューティングのためのリモートアクセス機能が含まれています。全体として、TEL Clean Track Mark 8は信頼性が高く、堅牢で高性能なフォトレジスト処理ソリューションをユーザーに提供します。高解像度の光学イメージング資産とレジストコーティング工程の精密な制御により、CTM-8は半導体パターニングに最適です。さらに、自動化されたメンテナンスプロセスとユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、あらゆるアプリケーションに最適です。