中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9128616 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体生産時にウェーハを加工するフォトレジスト加工装置です。フォトレジストは、光にさらされたときに選択的に硬化される光に敏感なエポキシ系の材料で、フォトリソグラフィに最適です。このシステムにより、フォトレジストは、自動制御ユニットを使用して制御された環境で露出、開発、剥離されます。TELクリーントラックマーク8は、必要に応じて取り付けることができるチャンバーの選択を備えたモジュラープラットフォームです。これにより、レジストコーティング、プレベイク、露出、ポスト露出ベーク、開発、ストリッピング、ドライストリップなど、さまざまな種類のプロセスを実行できます。露出工具にはステップ&リピートアライメント付きのレーザービームを使用しているため、高精度のローカライズエッチングも可能です。このツールは、超高プロセス歩留まりを維持し、化学薬品やウェハクリーニング用品などの消耗品の消費を最小限に抑えるように設計されています。その自動モニタアセットは、トラブルシューティングや修理のためのプロセスデータをリアルタイムで分析し、最適なプロセス条件を維持します。高度な予防メンテナンスによりダウンタイムを最小限に抑え、プロセスの欠陥や摩耗関連の問題から回復するさまざまな能力を提供します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、パーティクルフリーを実現するさまざまな機能を備えています。ウェーハ加熱モデルとサーキュレータは、チャンバー内の凝縮を防ぐように設計されており、自動フィルター回転装置はフィルターの目詰まりを防ぎます。一連のスクラビングブラシとチャンバー内の放射ヒーターで、システムは除去プロセス中の粒子を含んでいます。クリーントラックマーク8は、効率的で信頼性の高いフォトレジストユニットです。モジュラー設計により、ユーザーは特定のプロセスニーズに合わせてソリューションをカスタマイズでき、高精度のレーザーアラインメントにより、最高品質の歩留まりを保証します。その高度な予防メンテナンスとパーティクル保持機能の配列により、半導体製造にとって貴重な機械となります。