中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #9087888 を販売中
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ID: 9087888
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
(2) Coaters / (2) Developers System, 8"
8HP/7CP/1AD/1WDS/1WEE
2-1 RRC x2
2-2 RRC x1
EBR stepping
Digital flowmeter
C/B (buffer tank x4)
(2) THC
Local
RtL
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高度な半導体デバイスの製造に使用されるフォトレジストシステムです。フォトリソグラフィープロセスの正確な制御を提供するように設計されており、業界をリードする半導体デバイスの製造に使用されています。TEL Clean Track Mark 8は、様々な先進技術を駆使し、正確なフォトリソグラフィ制御と精度を実現しています。主な技術の1つは極端な紫外線(EUV)リソグラフィで、解像度が11 nmまでの非常に細かい構造のパターン化が可能です。その他の先進技術としては、高度なフォトレジスト互換性、液浸リソグラフィ、オフアクシス照明などが挙げられます。また、特許取得済みのウェーハアンギュラマスクテープ(WAMT)ステージを搭載し、フォトリソグラフィープロセス中に均一なフラットフォトレジスト層を確保します。この機能は、デバイス全体にわたって高解像度とプロセスの均一性を維持するのに役立ちます。また、ダイレクトドライブスキャナ設計を採用し、変形を最小限に抑え、全体的な精度を向上させます。これらの高度な技術に加えて、Clean Track Mark 8には高いスループット機能、データ管理機能、プロセスシミュレーション/モデル精度が組み込まれています。これらの機能により、ユーザーはプロセスを迅速、効率的、正確に分析および最適化することができます。また、ウェーハ処理にかかる時間を短縮する高度な自動化を採用しています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、生産性を高め、プロセスの精度を維持しようとするあらゆる半導体メーカーにとって貴重なツールです。その先進的な技術と機能により、Mark 8は高品質の半導体デバイスを製造するための効率的で信頼性の高い費用対効果の高い手段を提供します。
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