中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293635984 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体製造のフォトリソグラフィープロセスに使用されるフォトレジスト機器です。Mark 8システムは、ウェーハにフォトレジストの薄い層を適用し、紫外線にさらされます。この紫外線への露出は、光が露出した地点で化学反応を起こし、フィルムの特性が変化します。これにより、光のパターンに基づいてフォトレジストをエッチングすることができます。Mark 8ユニットは、フォトレジストを極めた精度で露出することができ、0。4ミクロンのフィーチャーサイズまでのパターンを作成します。これは、クリーントラックシリーズの前のモデルの2倍の精度であり、想像できる最高品質のマイクロトロニクス部品を製造するのに役立ちます。このマシンは、独自のCCDカメラを使用して、ウェーハアライメントが正確であることを確認するために、精度が1ミクロン未満のウェーハを正確に見つけることができます。このツールはまた、RIEエッチングチャンバーと3ゾーン炉を使用して、フォトレジストを正確に適用および除去します。RIEエッチングチャンバーは、幅広いエッチング条件を使用して、任意のアプリケーションのフォトエッチング処理をカスタマイズできます。Mark 8アセットは、最も近代的で洗練された半導体コンポーネントを処理できる高度なフォトレジストモデルです。装置は、正確なエッチングとアライメントを提供するだけでなく、適用されたフォトレジストと露出された紫外線との完璧なマッチングを保証するために、リーチングパラメータの特殊なチューニングを可能にします。Mark 8には、直感的でユーザーフレンドリーなインターフェースを備えた、市場で入手可能な最先端のプログラミング機能がいくつかあります。これにより、ウェーハ容量のリアルタイムの更新と予測が可能になり、チップのバッチを確実に軌道に乗せることができます。さらに、システムはチップごとにパフォーマンスデータを追跡することができ、問題が発生する前に問題を特定し追跡するのに役立ちます。TEL Clean Track Mark 8は、最先端かつ挑戦的なマイクロトロニック製造プロセスに対応できる強力なフォトレジストマシンです。このツールは、正確なウェーハアライメント、正確なエッチング、リアルタイムの監視およびデータ収集を可能にし、一貫した品質、パフォーマンス、およびスループットを保証します。あらゆる半導体製造設備に最適です。