中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293628320 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高精度で微細なパターニングを実現するフォトレジスト装置です。フォトレジストシステムは、シリコンウェーハなどの基板に細かく均一なパターンを露出させるように設計されており、革新的な半導体デバイスの製造に使用されています。このユニットは、本体、投影目的および駆動システムからなる水中トラックスキャナを使用しています。水中トラックスキャナは、マシンのさまざまなパラメータを制御するトラックコントローラに接続されています。投影目的はトラックスキャナに接続され、液体フォトレジスト溶液に水没します。投影目的は、フォトレジストに光を集中させるために使用され、駆動システムは、基板上のパターンの正確なX、 Y、およびZの位置決めを可能にします。このツールは、0。1ミクロンまでの精度と0。2ミクロンまでのパターンで、均一で高精度なパターンを生成することができます。フォトレジストはまた、温度、圧力、または年齢の影響を受けない安定性を提供します。これにより、高精度で正確なパターンが求められるため、半導体製造に最適です。TEL Clean Track Mark 8アセットは、基板上の薄いレジスト層を確実かつ正確にパターン化する必要がある方に最適です。モデルは0。1ミクロンまでの精度で均一で高精度なパターンを提供することができ、使用されるフォトレジストは年齢、温度、圧力に影響されません。最後に、この装置は高密度の3次元パターンを生成するためにも使用でき、革新的なデバイスをより高い精度と精度で製造することができます。