中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293616507 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8フォトレジスト装置は、リソグラフィ処理用に設計された先進的なイメージングソリューションです。このシステムは、マスク材料に対する熱効果を低減しながら、スループットを最大化するように設計されています。モジュラー設計により、幅広い生産アプリケーションに対応し、既存のほとんどのリソグラフィーシステムと容易に統合できます。TEL Clean Track Mark 8は、高度なレンズユニットを採用し、5バンドの紫外線照明を使用して、最大100nmの空中画像解像度を実現しています。その印象的なイメージング精度は、波長選択放射能力と組み合わせて、ハイエンドのリソグラフィ用途に最適です。また、これらの治療に必要な明瞭さと微妙な色調範囲を提供するために高いダイナミックレンジを持っています。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8には、フォトレジストを均一に適用できるプログラマブル抵抗コントローラが搭載されています。また、高い洗浄速度を提供し、プロセスのばらつきと不均一性を最小限に抑えます。オルタネーションやマルチレベル階層マスク書き込みなど、高解像度のマスク書き込みをサポートします。このツールは、収差を低減し、フォトレジストの均一な投与量を保証する改良されたコンピューター制御アルゴリズムを採用しています。これは、安定した再現可能な処理のためのウェーハアライメントのアセットが装備されており、ループのアライメントと欠陥出力制御のためのCCDカメラが含まれています。便利に、Clean Track Mark 8には、タッチスクリーン制御付きのユーザーフレンドリーでグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が装備されています。GUIは、すべての編集、操作、およびスクリプト機能に簡単にアクセスできます。動的な画像サイズ調整、自動ウェーハインデックスとアライメント補正を提供します。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高いスループット、再現性、精度を要求されるリソグラフィ用途に最適なフォトレジストモデルです。最先端のレンズ装置と高度なイメージング機能により、最高口径の半導体処理の実現可能なソリューションとなります。