中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #293585704 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、洗練されたフォトレジスト装置です。TEL Limited （TOKYO ELECTRON）は、フォトリソグラフィ、レジスト加工、ウエハハンドリングにおいて実績のある技術を最大限に活用できるように設計されたプラットフォームを提供しています。TEL Clean Track Mark 8は、フォトレジスト用途のリソグラフィに最適です。マスクの正確な位置決め、優れたアライメント精度、ウェーハへの効果的なパターン転送を可能にします。このシステムには、CCD登録用のセルフポケット式ミニスコープが含まれています。超コンパクトなアライメントステージ。全面的な露出の単位；ウェーハの負荷場所；そして統合されたウェーハの処理。これらのコンポーネントは、解像度、再現性、歪みを最小限に抑えるために設計されたリソグラフィーソリューションを作成します。ミニスコープは、マスクとウェーハの自動非破壊登録を備えており、露出時間を短縮し、アライメントの精度を向上させます。OptiScopeの高度な設計により、1つのスキャンだけでアライメントと登録のスループットと精度が向上し、露出時間が短縮され、必要に応じてアライメント精度が向上します。OptiScopeには、アライメント情報とマスク登録情報のリアルタイム表示も含まれており、オペレーション担当者が製品を迅速かつ簡単に調整できます。ウルトラコンパクトアライメントステージは、高度なモータライゼーション技術と機械設計技術を駆使し、絶妙な精度と均質なアライメントを保証します。それは安定性、精密、および速度を提供し、埋め込まれた、単一の部分の光加工の照明機械を特色にします。結果として得られる性能は、露出後の優れたパターン精度を保証します。フルフィールド露光ツールは、優れたパターン転送精度とスループットを提供します。高度なレーザーパターニング方法と電子シャッターを使用しており、解像度が5um向上し、1時間あたり最大5ウェーハの容量を提供します。また、ウェーハロードステーションは、簡単なロードとアンロードを可能にし、露出時間を短縮し、スループットを向上させます。統合ウエハハンドリングアセットは、高性能な生産環境に必要なホットスワップと統合アクセスを提供するように設計されています。ウェーハロードステーションは、最大4つのウェーハ導入システムを並列に接続することができ、効率的なウェーハのロードとアンロードを可能にします。東京電機クリーントラックマーク8フォトレジストモデルは、効率的な生産のための包括的で信頼性の高いプラットフォームを提供します。高度なアライメントと露出管理を提供し、ウェーハの正確なパターン転送を保証します。これにより、高精度フォトレジスト用途の製造に最適なソリューションとなります。