中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8 #190708 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、半導体デバイス製造のための高度な基板調製用に設計されたフォトレジスト装置です。最適な性能、精度、高い再現性を実現するよう設計されており、さまざまなデバイス製造アプリケーションに最適なソリューションを提供します。このシステムには、リアルタイムのモーションコントロール、精密ロボットハンドリング、高度なカメラベースのビジョンソリューションが装備されており、正確な基板移動と正確な位置決めが可能です。一度に最大3つのウエハで構成でき、高度な自動光学機能を備えているため、マスクや基板の正確なアライメントが可能です。TEL Clean Track Mark 8は、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備え、厚膜の均一性を維持し、高精度なパターニングを提供します。その先進的な基板調製ユニットは、ケミカルエッチングやレーザーストリッピングなどの洗浄工程と剥離工程を組み合わせて、さまざまな工程に素早く基板表面を調製します。さらに、高度な光変位および変位速度制御により、さらなる精度が得られ、信頼性の高い正確なパターニングが可能になります。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8の高度なウエハ加工とマスク加工機能により、高い膜厚制御により、正確で再現性のあるマルチマスクオーバーレイとパターニングを実現します。これには専用のマスクリフティングメカニズムが含まれており、ビジョンマシンに統合されて正確なウエハーからマスクへのアライメントを確認します。Clean Track Mark 8は堅牢な監視機能も備えており、このツールには高度なレシピ管理アセットとデジタルプロセス制御が装備されており、すべてのデバイスで効率的なレシピが利用可能です。これには、リアルタイムでプロセスデータにアクセスする機能など、高度なリモート監視機能が含まれます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 8は、高精度、信頼性、再現性を必要とするあらゆるプロセス開発アプリケーションに最適なツールです。堅牢な設計と高度な機能により、長期的なパフォーマンスに最適化され、高度なプロセスアプリケーションに最適なソリューションとなります。