中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9350704 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、特にポリイミドやセラミックスなどの洗浄が困難な大型パネルにおいて、最高レベルの無粒子加工を実現するフォトレジスト機器です。このシステムは、デュアルUVアクセラレータ源を搭載しており、沈着前のパネル清浄度の向上に特に適しています。TEL Clean Track Mark 7は、オゾン濃縮アルゴン雰囲気を照射し、清潔な環境を維持するために上部に2つのアークを備えています。チャンバーに入ると、パネルが滑らかなワイプエッジプロセスに沿って通過し、高速ワイプを使用して汚染の粒子を除去します。その後、進歩的な高輝度UVソースを使用してパネル表面をきれいにし、潜在的な粒子をさらに排除します。使用する基板の種類に応じて、お客様の特定の工程に応じて0。1〜0。3ミクロン程度の精密洗浄が可能です。クリーントラックマーク7の部屋には、最適な粒子のない環境のために継続的に監視および制御されるクリーンな窒素が充填されています。また、最大限のカバレッジのためにパネルが揃っている場合にのみ開く高速シャッターが設置されています。これにより、スループットが最大化され、消費電力が削減されます。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7のオペレータパネルには、これまで保存していたプリセットレシピのリストと、最大150個の新しいレシピを保存できる機能が用意されています。直感的なグラフィックユーザーインターフェイスにより、オペレータは変更と受け入れが必要なパラメータをすばやく選択できます。さらに、このユニットは、マシンを常に監視し、干渉とダウンタイムを制限する強力な自己診断ツールを使用しています。TEL Clean Track Mark 7には、高度な画像解析ツールであるEXEConも搭載されています。この資産は、除去する必要のある粒子や破片を識別するために、クリーニングプロセスを積極的に監視することができ、ユーザーは潜在的な問題を迅速に特定し、迅速に対処することができます。結論として、東京エレクトロンクリーントラックマーク7は、大型パネルなどの洗浄困難な材料を正確かつ迅速に洗浄するための理想的なモデルです。高精度なUVソース、自己診断ツール、EXEConは、最高レベルのパーティクルフリー処理を保証します。直感的なユーザーインターフェイスにより、簡単な操作とレシピの保存が可能です。また、ニトジェンクリーンルームを連続的に操作することで、最適なパネルの清潔性を確保します。