中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9265762 を販売中

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、マイクロエレクトロニクス部品の製造などの高精度アプリケーション向けに設計されたフォトレジスト機器です。高精度、低応力、低気候依存性のエッチング環境を誇り、最も複雑な構造を容易に製造できます。TELクリーントラックマーク7は、液浸ユニット、トランスファーユニット、ドライユニットの3つのコンポーネントを含むシステムです。液浸ユニットは真空チャンバーで、溶剤ベースのエッチング液に浸漬されます。これにより、再現性が高く均一なエッチング処理が可能になり、エッチング後の処理が不要になります。トランスファーユニットは、パターン化されたフォトレジストマスクをウェハから浸漬ユニットに転送し、ドライユニットはエッチングされた材料から余分な液体を駆動します。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、優れたエッジ制御と優れたライン幅コントロールにより、直径45nmまで正確に機能をエッチングできます。様々なフォトレジスト素材を取り扱うことができ、高感度の微細加工プロセスに使用することができます。また、ウェーハ加工の高精度レベルを備えており、長さ5 μ mのステップで0。6 μ mの再現精度を実現しています。高精度のエッチング技術とともに、Clean Track Mark 7はモジュラー設計を備えており、ユーザーがカスタマイズしやすくなります。また、プロセスの監視と制御に役立つ便利で直感的なオペレータインターフェイスが装備されています。このマシンは、プロセスの一貫性を確保するための機能を内蔵しており、信頼性が高く、効率的で安全であるように設計されています。TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、最先端の半導体デバイスの製造に関する厳しい要件を満たすことができる、効率的で信頼性の高いフォトレジストツールです。エッチングレート制御に優れた高精度エッチングと幅広いウエハ処理が可能で、時間経過とともに高品質な結果を得ることができます。