中古 TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7 #9250398 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、幅広い半導体製造プロセスに対応した先進的なフォトレジストシステムです。最新の半導体技術の開発において重要な要素である、大径200mm(約8インチ)の大型ウェハを高速かつ高精度に加工することが可能です。TEL Clean Track Mark 7は、フォトマスクからフォトレジストコーティングされたウェハにパターンを転送するために、専用の高集積レーザービームを使用した高度なレーザーリソグラフィーシステムです。このレーザービームは、精密なモーションコントロールシステムによって導かれ、ナノメートルスケールの精度を保証します。絞り制御は、これまで露出していなかったウエハ部分への光の露出を防止するためにも使用されます。TOKYO ELECTRON Clean Track Mark 7は、シリコン、ヒ素ガリウム、リン酸インジウムなどの異なる材料のウエハ基板も加工できるので特別です。これにより、より新しい、より高度な半導体コンポーネントの設計におけるより柔軟なソリューションが可能になります。また、高精度かつ高精度であることはもちろんのこと、優れた清浄度を誇り、リソグラフィの段階からほこり、粒子、残留物を徹底的に除去します。最後に、Clean Track Mark 7は、最も一般的に使用されるフォトレジスト材料との優れた互換性を持っています。これにより、ハイテク半導体デバイスの生産におけるコストを削減し、ミスを少なくすることができます。
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